author = { Humboldt-Universität zu Berlin Sektion Elektronik AND Tagung Elektronik-Technologie 3 1985 Berlin, Ost },

title = { Fortschritte in der Halbleitertechnologie mikro- und optoelektronischer Systemelemente Beiträge zur 3. Tagung Elektronik - Technologie },

publisher = {Humboldt-Univ., Sekt. Elektronik},

keywords = { Konferenzschrift },

year = {1985},

booktitle = {Berichte / Humboldt-Universität zu Berlin ; 1985,1},

address = { Berlin },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }