%0 Book
%T Low dielectric constant materials for IC applications
%A Ho, Paul S.
%I Springer
%@ 3540678190
%K Electric insulators and insulation
%K Dielectrics
%K Integrated circuits
%K Aufsatzsammlung
%K Integrierte Schaltung
%K Werkstoff
%K Dielektrische Eigenschaft
%D 2003
%X Literaturangaben
%C Springer
%C Berlin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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