TY -
BOOK
AU - Ho, Paul S.
TI -
Low dielectric constant materials for IC applications
PB - Springer
SN - 3540678190
KW - Electric insulators and insulation
KW - Dielectrics
KW - Integrated circuits
KW - Aufsatzsammlung
KW - Integrierte Schaltung
KW - Werkstoff
KW - Dielektrische Eigenschaft
PY - 2003
N2 - Literaturangaben
BT - Advanced microelectronics ; 9
BT - Physics and astronomy online library
CY - Berlin
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -