TY -
GEN
AU - Feder, René
TI -
Ionenstrahlgestützte Schichtabscheidung von Ag und Ge - Zusammenhang zwischen den Eigenschaften des Ionenstrahls, der schichtbildenden Teilchen und der abgeschiedenen Schichten
KW - Hochschulschrift
PY - 2014
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -