author = { Hald, Axel Technische Universität Dresden },

title = { Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen },

edition = { Als Manuskript gedruckt } ,

publisher = {VDI Verlag GmbH},

publisher = {: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design},

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isbn = {9783183473205},

isbn = {3183473208},

keywords = { Hochschulschrift , MEMS , Kapazitiver Sensor , Beschleunigungssensor , Drehratensensor , Schaltungsentwurf , Elektrostatik , Parasitäres Element Mikroelektronik , Prozesssimulation , Ersatzschaltbild , Mustererkennung },

year = {[2020]},

year = {, [2020]},

year = {, © 2020},

booktitle = {VDI Fortschritt-Berichte ; Reihe 20, Rechnerunterstützte Verfahren ; Nr. 473},

address = { Düsseldorf , ; Dresden , },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }