TY - BOOK
AU - Hald, Axel
AU - Technische Universität Dresden
TI - Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen
ET - Als Manuskript gedruckt
PB - VDI Verlag GmbH
PB - : Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
SN - 9783183473205
SN - 3183473208
KW - Hochschulschrift
KW - MEMS
KW - Kapazitiver Sensor
KW - Beschleunigungssensor
KW - Drehratensensor
KW - Schaltungsentwurf
KW - Elektrostatik
KW - Parasitäres Element Mikroelektronik
KW - Prozesssimulation
KW - Ersatzschaltbild
KW - Mustererkennung
PY - [2020]
PY - , [2020]
PY - , © 2020
BT - VDI Fortschritt-Berichte ; Reihe 20, Rechnerunterstützte Verfahren ; Nr. 473
CY - Düsseldorf
CY - ; Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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