author = { Arnold, Benjamin Universitätsbibliothek Chemnitz },

title = { Entwurf, Aufbau und Charakterisierung eines mikromechanischen Gleichspannungswandlers },

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {9783961001248},

isbn = {3961001243},

keywords = { Hochschulschrift , Gleichspannungswandler , MEMS , Körperschall , Akustischer Sensor , Beschleunigungssensor , Resonanzwandler , Phasenregelkreis , Versorgungsspannung , Modalanalyse , Finite-Elemente-Methode , Mikrosystemtechnik , Resonator },

year = {2020},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }