author = { Junige, Marcel AND Oddoy, Tim AND Yakimovab, Rositsa AND Darakchievab, Vanya AND Wenger, Christian AND Lupinac, Grzegorz AND Kitzmann, Julia AND Albert, Matthias AND Bartha, Johann W. },

title = { Atomic layer deposition of Al²O³ on NF³-pre-treated graphene },

publisher = {Technische Universität Dresden},

year = {2019},

abstract = {In: SPIE Microtechnologies. Barcelona, 4.-6. May 2015},

abstract = {In: Nanotechnology VII, Herausgeber: Ion M. Tiginyanu, Erscheinungsort: Bellingham, Wash., Verlag: SPIE, Erscheinungsjahr: 2015, Titel Schriftenreihe: Proceedings of SPIE, Bandnummer Schriftenreihe: 9519},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }