%0 Generic
%T Atomic layer deposition of Al²O³ on NF³-pre-treated graphene
%A Junige, Marcel
%A Oddoy, Tim
%A Yakimovab, Rositsa
%A Darakchievab, Vanya
%A Wenger, Christian
%A Lupinac, Grzegorz
%A Kitzmann, Julia
%A Albert, Matthias
%A Bartha, Johann W.
%I Technische Universität Dresden
%D 2019
%X In: SPIE Microtechnologies. Barcelona, 4.-6. May 2015
%X In: Nanotechnology VII, Herausgeber: Ion M. Tiginyanu, Erscheinungsort: Bellingham, Wash., Verlag: SPIE, Erscheinungsjahr: 2015, Titel Schriftenreihe: Proceedings of SPIE, Bandnummer Schriftenreihe: 9519
%C Technische Universität Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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