TY - GEN
AU - Junige, Marcel
AU - Oddoy, Tim
AU - Yakimovab, Rositsa
AU - Darakchievab, Vanya
AU - Wenger, Christian
AU - Lupinac, Grzegorz
AU - Kitzmann, Julia
AU - Albert, Matthias
AU - Bartha, Johann W.
TI - Atomic layer deposition of Al²O³ on NF³-pre-treated graphene
PB - Technische Universität Dresden
PY - 2019
N2 - In: SPIE Microtechnologies. Barcelona, 4.-6. May 2015
N2 - In: Nanotechnology VII, Herausgeber: Ion M. Tiginyanu, Erscheinungsort: Bellingham, Wash., Verlag: SPIE, Erscheinungsjahr: 2015, Titel Schriftenreihe: Proceedings of SPIE, Bandnummer Schriftenreihe: 9519
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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