author = { Koehler, Michael Köhler, Michael },

title = { Ätzverfahren für die Mikrotechnik },

publisher = {Wiley-VCH},

isbn = {3527288694},

keywords = { Microlithography , Semiconductors Etching , Lehrbuch , Ätzen , Mikrosystemtechnik },

year = {1998},

abstract = {Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology},

abstract = {Literaturverz. S. [371] - 386},

address = { Weinheim },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }