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Book
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Semiconductor lithography
principles, practices, and materials
%A Moreau, Wayne M.
%I Plenum Pr.
%@ 0306421852
%K Semiconductors
%K Microlithography
%K Photoresists
%K Lithografie Halbleitertechnologie
%D 1988
%C Plenum Pr.
%C New York, NY [u.a.]
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2