author = { Leineweber, Michael },

title = { Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensorsystemen unter Verwendung der Oberflächenmikromechanik },

edition = { Als Ms. gedr. } ,

publisher = {VDI-Verl.},

isbn = {3183348098},

keywords = { Hochschulschrift , Taktiler Sensor , Siliciumsensor , Wafer , CMOS-Schaltung , Mikromechanik , Oberflächenmontage },

year = {2002},

booktitle = {Fortschritt-Berichte VDI ; Reihe 9, Elektronik/Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 348},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }