author = { Partsch, Uwe },

title = { LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren },

edition = { 1. Aufl. } ,

publisher = {Detert},

isbn = {3934142117},

keywords = { Hochschulschrift , Halbleiterdrucksensor , LTCC , Dreidimensionale Integration },

year = {2002},

booktitle = {Themenreihe: Elektronik-Technologie in Forschung und Praxis ; 9},

address = { Templin },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }