%0 Book
%T LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren
%A Partsch, Uwe
%7 1. Aufl.
%I Detert
%@ 3934142117
%K Hochschulschrift
%K Halbleiterdrucksensor
%K LTCC
%K Dreidimensionale Integration
%D 2002
%C Detert
%C Templin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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