TY - BOOK
AU - Da̧browski, Jarek
AU - Weber, E. R.
TI - Predictive simulation of semiconductor processing status and challenges
PB - Springer
SN - 3540204814
KW - Semiconductors Simulation methods
KW - Microelectronics Technological innovations
KW - Bibliografie
KW - Aufsatzsammlung
KW - Transistor
KW - Atomare Bewegung
KW - Computersimulation
KW - Halbleitertechnologie
KW - Prozesssimulation
PY - 2004
N2 - Literaturangaben
BT - Springer series in materials science ; 72
CY - Berlin
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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