%0
Book
%T
Bonding in microsystem technology
%A Dziuban, Jan A.
%I Springer Netherland
%@ 9781402045783
%@ 1402045786
%K Microtechnology
%K Micromachining
%K Mikrosystemtechnik
%K Bonden
%D 2006
%X Literaturangaben
%C Springer Netherland
%C Berlin [u.a.]
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2