TY - GEN
AU - Wündisch, Clemens
AU - Helm, Manfred
AU - Bracht, Hartmut
TI - ˜Dasœ Diffusions- und Aktivierungsverhalten von Arsen und Phosphor in Germanium
PB - Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
KW - Diffusion
KW - Phosphor
KW - Germanium
KW - Aktivierung
KW - Ausheilung
KW - Ionenimplantation
KW - Dotierung
KW - Festphasenepitaxie
KW - Doping
KW - Annealing
KW - Solid Phase Epitaxy
KW - Hochschulschrift
PY - 2016
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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