TY -
GEN
AU - Gorges, Stephan
AU - Theska, René
AU - Schäffel, Christoph
AU - Schmidt, Bernd Hans
TI -
A lifting and actuating unit for a planar nanoprecision drive system
PB - TU Ilmenau
KW - Orce
KW - Präzisionsmessung
PY - 2020
CY - Ilmenau
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -