TY -
GEN
AU - Hörich, Florian
AU - Strittmatter, André
TI -
Sputterepitaxie von Gruppe III-Nitriden
PB - Universitätsbibliothek Otto-von-Guericke-Universität
KW - Galliumnitrid
KW - MOCVD-Verfahren
KW - Aluminiumnitrid
KW - Drei-Fünf-Halbleiter
KW - Epitaxieschicht
KW - Nitride
KW - Schichtwachstum
PY - 2023
CY - Magdeburg
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -