author = { Sasse, Philipp Wilhelm },

title = { Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik },

keywords = { Rotationssensor , Entwurf , Mikromechanik , Oberflächenmontage , CMOS , Siliciumbauelement , Hochschulschrift },

year = {2002},

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }