author = { DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) AND Materials Testing Standards Committee AND DIN Deutsches Institut für Normung e. V. AND DIN German Institute for Standardization },

title = { DIN 50452-2 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 2: Teilchenbestimmung mit optischen Durchflusspartikelzählern },

edition = { 2009-10-00 } ,

publisher = {Beuth Verlag},

keywords = { Prüfung , Prüfverfahren , Analyse , Flüssigkeit , Sachmittel , Konzentration , Begriffe , Prüfen , Gehaltsbestimmung , Definition , Halbleitermaterial , Stoff , Werkstoffprofil , Material , Partikelmessung , Teilchenanalyse , Halbleiter , Halbleitertechnologie , Partikelkonzentration , Konzentrierung (Chemietechnik) , Werkstoff , Materialprüfung , Concentration of particles , Materials testing , Semiconductors , Semiconductor technology , Determination of content , Analysis , Particulate matter measurement , Particle analysis , Materials , Testing , Definitions , Liquids , Concentration , Semiconductor materials , Concentration , Essai , Concentration de particules , Liquide , Matériau de semi-conducteur , Matériau , Production de semi-conducteur , Matière , Etoffe , Technologie de semi-conducteur , Analyse de particules , Dosage , Semi-conducteur , Dopage de semi-conducteur , Définition , Essai de matériaux , Analyse , Substance , Measurement of particulate matter , Matériaux , Fabrication de semi-conducteur },

year = {2009-10-00},

booktitle = {DIN-Regelwerk},

booktitle = {Deutsche Normen},

address = { Berlin , Wien , Zürich },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }