TY -
GEN
AU - Li, C. I.
AU - Kuo, P.
AU - Lai, H. H.
AU - Ma, K.
AU - Liu, R.
AU - Wu, H. H.
AU - Chan, M.
AU - Yang, C. L.
AU - Wu, J. Y.
AU - Guo, B. N.
AU - Colombeau, B.
AU - Thirumal, T.
AU - Arevalo, E.
AU - Toh, T.
AU - Shim, K. H.
AU - Sun, H. L.
AU - Wu, T.
AU - Lu, S.
AU - Matsuo, Jiro
AU - Kase, Masataka
AU - Aoki, Takaaki
AU - Seki, Toshio
TI -
Enabling Solutions for 28 nm CMOS Advanced Junction Formation
PB - AIP
SN - 0094-243X
PY - 2011
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -