%0 Generic
%T New laboratory EUV reflectometer for large optics using a laser plasma source
%A van Loyen, Ludwig
%A Boettger, Thomas
%A Braun, Stefan
%A Mai, Hermann
%A Leson, Andreas
%A Scholze, Frank
%A Tuemmler, Johannes
%A Ulm, Gerhard
%A Legall, Herbert
%A Nickles, Peter V.
%A Sandner, Wolfgang
%A Stiel, Holger
%A Rempel, Christian E.
%A Schulze, Mirko
%A Brutscher, Joerg
%A Macco, Fritz
%A Muellender, Stefan
%I SPIE
%@ 0277-786X
%D 2003
%C SPIE
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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