TY - GEN
AU - van Loyen, Ludwig
AU - Boettger, Thomas
AU - Braun, Stefan
AU - Mai, Hermann
AU - Leson, Andreas
AU - Scholze, Frank
AU - Tuemmler, Johannes
AU - Ulm, Gerhard
AU - Legall, Herbert
AU - Nickles, Peter V.
AU - Sandner, Wolfgang
AU - Stiel, Holger
AU - Rempel, Christian E.
AU - Schulze, Mirko
AU - Brutscher, Joerg
AU - Macco, Fritz
AU - Muellender, Stefan
TI - New laboratory EUV reflectometer for large optics using a laser plasma source
PB - SPIE
SN - 0277-786X
PY - 2003
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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