TY - GEN
AU - Otto, Juergen
AU - Paquet, Volker
AU - Kersten, Ralf T.
AU - Etzkorn, Heinz-Werner
AU - Brusasco, Raymond M.
AU - Britten, Jerald A.
AU - Campbell, Jack H.
AU - Thorsness, J. B.
TI - Radio frequency and microwave plasma for optical thin-film deposition
PB - SPIE
SN - 0277-786X
PY - 1990
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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