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  1. Franssila, Sami [VerfasserIn]

    Introduction to microfabrication

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    Chichester [u.a.]: Wiley, 2004

  2. Baglio, Salvatore [VerfasserIn]; Castorina, Salvatore [VerfasserIn]; Savalli, Nicolò [VerfasserIn]

    Scaling issues and design of MEMS

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    Chichester [u.a.]: Wiley, 2007

  3. Zappe, Hans P. [VerfasserIn]; Zappe, Hans [VerfasserIn]

    Laser diode microsystems

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2004

    Erschienen in: Microtechnology and MEMS- Physics and astronomy online library

  4. Varadan, Vijay K. [VerfasserIn]; Vinoy, K. J. [VerfasserIn]; Gopalakrishnan, S. [VerfasserIn] ; Vinoy, Kalarickaparambil Joseph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Smart material systems and MEMS : design and development methodologies

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    Chichester [u.a.]: Wiley, 2006

  5. Wong, C. P. [HerausgeberIn]; Moon, Kyoung-Sik [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Li, Yi [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Nano-bio-electronic, photonic and MEMS packaging

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    New York, NY; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2010

  6. Geßner, Thomas [HerausgeberIn] ; European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components 2 2008 Barcelona

    Smart Systems Integration 2008 : [2nd European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICS and Electronic Components]; Barcelona, Spain, April 9-10, 2008

    Elektronische Ressourcen
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    Berlin; Offenbach: VDE Verl., 2008

  7. Geßner, Thomas [HerausgeberIn] ; European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components 1 2007 Paris

    Smart System Integration 2007 : Paris, France 27. - 28.03.2007; Proceedings; [1st European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components]

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    Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 2007