Müller, J.
[Verfasser:in];
Kleinholz, Cathleen
[Verfasser:in];
Günther-Müller, Sarah
[Verfasser:in];
Fischer, M.
[Verfasser:in];
Strehle, Steffen
[Verfasser:in];
Motzkus, Clemens
[Verfasser:in];
Engelhardt, Hannes
[Verfasser:in];
Heidenreich, Manuel
[Verfasser:in];
Schulz, Thomas
[Verfasser:in];
Löhnert, Romy
[Verfasser:in];
Töpfer, Jörg
[Verfasser:in];
Altendorf, L.
[Verfasser:in];
Thelemann, T.
[Verfasser:in];
Bensch, R.
[Verfasser:in];
Bartnitzek, T.
[Verfasser:in];
Schroeter, Annett
[Verfasser:in];
Kellner, Maria
[Verfasser:in];
Leistritz, Bianca
[Verfasser:in];
Nikpourian, Alireza
[Verfasser:in];
Ortlepp, Thomas
[Verfasser:in];
Hintz, M.
[Verfasser:in];
Käpplinger, Indira
[Verfasser:in];
Schädel, M.
[Verfasser:in];
Baldauf, J.
[Verfasser:in];
[...]
;
Görne, Arno Ludwig
[Mitwirkende:r];
Capraro, Beate
[Mitwirkende:r];
Kreher, Lisa
[Mitwirkende:r];
Hajian, Ali
[Mitwirkende:r];
Adaikkan, Manikandan
[Mitwirkende:r];
Bechtold, Franz
[Mitwirkende:r];
Grieger, Johanes
[Mitwirkende:r];
Schundau, Sven
[Mitwirkende:r]
Technische Universität Ilmenau,
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme,
Ernst-Abbe-Hochschule Jena,
Micro-Hybrid-Electronic GmbH,
VIA Electronic GmbH Hermsdorf,
Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme Ilmenau,
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik,
5microns GmbH,
Siegert TFT GmbH Hermsdorf,
ABATEC Mikrosysteme,
LLT Applikation GmbH