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  1. Junige, Marcel [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit

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    Dresden: Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik u. Informationstechnik, Inst. f. Halbleiter- u. Mikrosystemtechnik, 2009

  3. Junige, Marcel [VerfasserIn]; Oddoy, Tim [VerfasserIn]; Yakimovab, Rositsa [VerfasserIn]; Darakchievab, Vanya [VerfasserIn]; Wenger, Christian [VerfasserIn]; Lupinac, Grzegorz [VerfasserIn]; Kitzmann, Julia [VerfasserIn]; Albert, Matthias [VerfasserIn]; Bartha, Johann W. [VerfasserIn]

    Atomic layer deposition of Al²O³ on NF³-pre-treated graphene

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    Dresden: Technische Universität Dresden, 2019

  5. Knaut, Martin; Junige, Marcel; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.

    In-situ real-time ellipsometric investigations during the atomic layer deposition of ruthenium: A process development from [(ethylcyclopentadienyl)(pyrrolyl)ruthenium] and molecular oxygen

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    American Vacuum Society, 2012

    Erschienen in: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films

  10. Junige, Marcel; Oddoy, Tim; Yakimova, Rositsa; Darakchieva, Vanya; Wenger, Christian; Lupina, Grzegorz; Kitzmann, Julia; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.

    Atomic layer deposition of Al2O3on NF3-pre-treated graphene

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    SPIE, 2015

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  12. Wenger, Christian; Kitzmann, Julia; Wolff, André; Fraschke, Mirko; Walczyk, Christian; Lupina, Gregorz; Mehr, Wolfgang; Junige, Marcel; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.

    Graphene based electron field emitter

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    American Vacuum Society, 2015

    Erschienen in: Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena