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  1. Menzel, Erich [VerfasserIn] ; Mirandé, Werner [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Weingärtner, Ingolf [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Fourier-Optik und Holographie

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    Wien [u.a.]: Springer, 1973

  2. Bosse, Harald [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Bodermann, Bernd [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mirandé, Werner [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    CD metrology : 20th Nov. 2003

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    Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss., 2003

    Erschienen in: Physikalisch-Technische Bundesanstalt: Vorträge des ... PTB-Seminars ; 188 - PTB-Bericht ; 48

  3. Hasche, Klaus [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mirande, Werner [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Wilkening, Günter [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Seminar on Quantitative Microscopy 2 1997 Wien, Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik

    Proceedings of the 2nd Seminar on Quantitative Microscopy : geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods ; on 6th and 7th November 1997 in Wien, Austria

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    Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss., 1997

    Erschienen in: PTB-Bericht ; 30

  8. Bodermann, Bernd; Michaelis, Winfried; Diener, Alexander; Mirande, Werner

    New methods for CD measurements on photomasks using dark field optical microscopy

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    SPIE, 2003

    Erschienen in: 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents

  10. Mirande, Werner; Bodermann, Bernd; Haessler-Grohne, Wolfgang; Frase, Carl G.; Czerkas, Slawomir; Bosse, Harald

    Characterization of new CD photomask standards

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    SPIE, 2004

    Erschienen in: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII

  12. Bodermann, Bernd; Mirande, Werner; Kerwien, Norbert; Tavrov, Alexander; Totzeck, Michael; Tiziani, Hans

    Comparative linewidth measurements on chrome and MoSi structures using newly developed microscopy methods

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    SPIE, 2003

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  13. Haessler-Grohne, Wolfgang; Hahm, K; Mirande, Werner; Bosse, Harald; Arnz, Michael

    Calibration of test reticles for qualification of imaging properties of microlithographic projection lenses

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    SPIE, 2002

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  15. Schatz, Thomas; Hauffe, Bertram; Dobereiner, Stefan; Bruck, Hans-Jurgen; Brendel, Bernd; Bettin, Lutz; Roth, Klaus-Dieter; Steinberg, Walter; Speckbacher, Peter; Sedlmeier, Wolfgang; Engel, Thomas; Hassler-Grohne, Wolfgang; Mirande, Werner; Bosse, Harald

    Development and characterization of new CD mask standards: a status report

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    SPIE, 2003

    Erschienen in: 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents