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  1. Mathis, Gaël [VerfasserIn]; Pevestorf, Reiner [VerfasserIn]; Goldenberg, Norbert [VerfasserIn]; Rößiger, Martin [VerfasserIn]; Zillner, Sonja [VerfasserIn]; Schneider, Martin [VerfasserIn] ; Europäische Kommission Research Fund for Coal and Steel

    Integrated Intelligent Manufacturing for Steel Industries (I2MSteel) : final report

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    Luxembourg: Publications Office of the European Union, 2017

    Erschienen in: EUR ; 28453

  2. Hartig, Carsten; Schulz, Bernd; Melzer, Robert; Ruhm, Matthias; Fischer, Daniel; Buhl, Stefan; Habets, Boris; Rößiger, Martin; Gutsch, Manuela

    Combined process window monitoring for critical features

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    SPIE, 2017

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  3. Lee, Hongoo; Han, Sangjun; Kim, Heongsoo; Habets, Boris; Bellmann, Enrico; Tottewitz, Steven; Buhl, Stefan; Rößiger, Martin; Kim, Seop

    Topography based wafer clustering for wafer level overlay correction

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    SPIE, 2017

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  4. Lee, Honggoo; Han, Sangjun; Kim, Myoungsoo; Habets, Boris; Buhl, Stefan; Guhlemann, Steffen; Rößiger, Martin; Bellmann, Enrico; Kim, Seop

    In-depth analysis of sampling optimization methods

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    SPIE, 2016

    Erschienen in: SPIE Proceedings