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  1. Hald, Axel [Verfasser:in] ; Technische Universität Dresden

    Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen - [Als Manuskript gedruckt]

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    Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] ; Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]

    Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473