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  1. Löwe, Hans [Verfasser:in]; Keppel, Peter [Verfasser:in]; Zach, Dietrich [Verfasser:in] ; Moritz, Corinna [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Halbleiterätzverfahren : Kinetik, Verfahrensgrundlagen und Anwendungsgebiete von naßchemischen Ätzverfahren für Si, GaAs, GaP und InP ; mit 9 Tabellen

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    Berlin: Akademie-Verl., 1990

  2. Notten, Peter H. L. [Verfasser:in]; Meerakker, Jan E. van den [Verfasser:in]; Kelly, John J. [Verfasser:in] ; Meerakker, Jan E. A. M. van den [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach

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    Oxford, UK [u.a.]: Elsevier Advanced Technology [u.a.], 1991

  3. Bogenschütz, August Friedrich [Verfasser:in]

    Ätzpraxis für Halbleiter

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    München: Hanser, 1967

  8. Kropp, Aron Igal [Verfasser:in] ; Joseph, Yvonne [Akademische:r Betreuer:in]; Kroke, Edwin [Akademische:r Betreuer:in] Technische Universität Bergakademie Freiberg

    Nasschemische Ätzung von Siliziumnitridschichten mit organischen Komplexbildnern

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    Freiberg, 2024

  10. Gondek, Christoph [Verfasser:in] ; Kroke, Edwin [Akademische:r Betreuer:in]; Heitmann, Johannes [Akademische:r Betreuer:in] Technische Universität Bergakademie Freiberg

    Nasschemische Siliciumbehandlung in Flusssäure-haltigen Lösungen mit den Oxidationsmitteln Wasserstoffperoxid und Ozon

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    Freiberg, 2017

  12. Seidel, Sarah [Verfasser:in] ; Heitmann, Johannes [Akademische:r Betreuer:in]; Vescan, Andrei [Akademische:r Betreuer:in] Technische Universität Bergakademie Freiberg

    Ternäre Oxide zur Passivierung von GaN-basierten elektronischen Bauelementen

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    Freiberg, 2023

  14. Zschorsch, Markus [Verfasser:in]

    Untersuchungen zur Sauerstoffausscheidung in hoch bordotiertem Silicium

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    Freiberg <Sachsen>: TU Bergakademie Freiberg, Fakultät Chemie und Physik, 2007

    Erschienen in: Freiberger Dissertationen OnLine ; 405

  17. Ritzmann, Julian [Verfasser:in] ; Wieck, Andreas D. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Köhler, Ulrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Fakultät für Physik und Astronomie

    Untersuchung des lokalen Tropfenätzens mit Metalltropfen auf (111)A-orientierten GaAs-Oberflächen mittels Molekularstrahlepitaxie und der dabei entstehenden Halbleiterheterostrukturen

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    Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2019

  18. Katsaros, Georgios [Verfasser:in]

    Investigation of the properties of SiGe islands by selective wet chemical etching and scanning probe microscopy = Untersuchung der Eigenschaften von SiGe-Halbleiterinseln durch selektives nasschemisches Ätzen und Rastermikroskopie

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