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  1. Zschäck, Stephan [Verfasser:in] ; Ament, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Manske, Eberhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Sawodny, Oliver [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Mehrgrößenregelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit großen Bewegungsbereichen

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    Ilmenau, 2015