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Wetting optimized solutions for plasma etch residue removal for application in interconnect systems of integrated circuits

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Münster: Monsenstein und Vannerdat, 2013 ; Chemnitz: Univ.-Verl., 2013
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Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2013
Ahner, Nicole [VerfasserIn] ; Geßner, Thomas [AkademischeR BetreuerIn]; Geßner, Thomas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schulz, Stefan E. [AkademischeR BetreuerIn]; Hietschold, Michael [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

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Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2013

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