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Hald, Axel [VerfasserIn] ; Technische Universität DresdenMethoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen - [Als Manuskript gedruckt]Schließen
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Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] ; Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473
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Oshinubi, Dayo [VerfasserIn]Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische DrehratensensorenOnline ansehenSchließen
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Handtmann, Martin [VerfasserIn]Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und KraftrückkoppelungOnline ansehenSchließen
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Wolfram, Heiko [VerfasserIn] ; Specht, Hendrik [MitwirkendeR]; Schmiedel, Ralf [MitwirkendeR]; Aurich, Torsten [MitwirkendeR]; Dötzel, Wolfram [MitwirkendeR]Implementation Issues on MEMS - A Study on System IdentificationOnline ansehenSchließen
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Wibbeler, Jürgen [VerfasserIn] ; Dötzel, Wolfram [GutachterIn]; Hauptmann, Peter [GutachterIn]; Werthschützky, Roland [GutachterIn] Technische Universität ChemnitzFrequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in OberflächenmikromechanikOnline ansehenSchließen
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