Ture, Erdin
[VerfasserIn]
;
Ambacher, Oliver
[AkademischeR BetreuerIn]
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg