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  1. Nehlsen, Stefan [VerfasserIn] ; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Keil, Frerich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie

    Plasmapolymerisierte Membranen zur Verbesseung der Selektivität von Gassensoren - [Als Ms. gedr.]

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    Düsseldorf: VDI-Verl., 1997

    Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 511