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  1. Behringer, Uwe [HerausgeberIn] ; European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 16 1999 München, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

    16th European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components '99 : lectures held at the GMM conference, November 15 - 16, 1999 in Munich, Germany

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    Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1999

    Erschienen in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 30

  2. Gesellschaft Feinwerktechnik, Verein Deutscher Ingenieure, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht

    Zeitschriften / Zeitungen / Schriftenreihen
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    Düsseldorf: VDI-Verl., 1985-1989 / Nachgewiesen 1984(1985) - 1989

  3. Behringer, Uwe [HerausgeberIn] ; Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 15 1998 München

    Mask technology for integrated circuits and micro-components '98 : lectures held at the GMM-conference, November 16 - 17, 1998 in Munich, Germany

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    Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1998

    Erschienen in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 25

  4. Elliott, David J. [VerfasserIn]

    Integrated circuit mask technology

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    New York [u.a.]: McGraw-Hill, 1985

  5. Rizvi, Syed [HerausgeberIn]

    Handbook of photomask manufacturing technology

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    Boca Raton, Fla. [u.a.]: DTaylor & Francis [u.a.], 2005

    Erschienen in: A CRC Press book