TY
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BOOK
AU
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Banse, Klaus-Dieter
TI
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Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik
KW
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Hochschulschrift
KW
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Mikromechanik
KW
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Mikroelektronik
PY
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1997
UR
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http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER
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