TY - GEN
AU - Leiderer, Paul
AU - Mosbacher, Mario
AU - Dobler, Volker
AU - Schilling, Andreas
AU - Yavaṣ, Oğuz
AU - Luk'jančuk, Boris S.
AU - Boneberg, Johannes
TI - Steam laser cleaning of silicon surfaces laser-induced gas bubble nucleation and efficiency measurements
PB - Bibliothek der Universität Konstanz
PY - 2002
N2 - Aus: Laser Cleaning / ed. Boris Luk'yanchuk. New Jersey : World Scientific, 2002, S. 255-310
CY - Konstanz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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