TY - GEN
AU - Leiterer, Jork
AU - Friedrich-Schiller-Universität Jena
AU - Heber, Jörg
AU - Richter, Wolfgang
AU - Kowarschik, Richard
TI - Spektralphotometrie und zeitaufgelöste Laserphotometrie für den VUV-Spektralbereich
KW - Hochschulschrift
KW - Gaslaser
KW - Spektralfotometrie
KW - Vakuumultraviolett
KW - Kontamination
KW - Reinigung
KW - Excimerlaser
PY - [2003?]
CY - Jena
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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