TY - BOOK
AU - Thiele, Simon
AU - Universität Stuttgart
TI - Design, Simulation und Prozessoptimierung für das 3D-Laserdirektschreiben von Mikrooptiken
PB - Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
SN - 9783923560974
KW - Hochschulschrift
KW - Mikrooptik
KW - Dimension 3
KW - Fotolithografie
KW - Mehrphotonenprozess
PY - Juli 2019
BT - Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; Nr. 98
CY - Stuttgart
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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