TY -
GEN
AU - Seidel, Sarah
AU - Technische Universität Bergakademie Freiberg
AU - Heitmann, Johannes
AU - Vescan, Andrei
TI -
Ternäre Oxide zur Passivierung von GaN-basierten elektronischen Bauelementen
KW - Hochschulschrift
KW - Galliumnitrid
KW - Elektronisches Bauelement
KW - Oxide
KW - Ternäre Verbindungen
KW - Gadolinium
KW - Scandium
KW - Aluminium
KW - Titan
KW - Ätzen
KW - Kristallisation
KW - Photoelektronenspektroskopie
PY - 2023
N2 - Literaturverzeichnis: Seite 121-137
N2 - Volltext: PDF
N2 - Tag der Verleihung: 11. November 2022
CY - Freiberg
UR - https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=0bb8bd27a7fbde41cd02875a74ca0f3d&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=0-1859309801&tx_find_find%5Btype%5D=ris
ER -