TY -
BOOK
AU - Weber, Michel D.
TI -
Miniature photoacoustic gas sensors
ET - 1. Aufl.
PB - Hartung-Gorre
SN - 3896495119
KW - Hochschulschrift
KW - Gassensor
KW - Photoakustischer Effekt
KW - Infrarotstrahler
KW - Siliciumbauelement
KW - Mikrosystemtechnik
PY - 1999
N2 - Repr. of EPFL thesis No. 2075
BT - Series in microsystems ; Vol. 6
CY - Konstanz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -