TY -
BOOK
AU - Reuter, Danny
TI -
Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
PB - Universitätsverlag Chemnitz
SN - 9783941003071
KW - Hochschulschrift
KW - Dünnschichttechnik
KW - Verkappen
KW - Mikrostruktur
KW - Opferschicht
KW - Polymere
KW - PECVD-Verfahren
PY - 2009
CY - Chemnitz
UR - https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=0bb8bd27a7fbde41cd02875a74ca0f3d&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=0-614317541&tx_find_find%5Btype%5D=ris
ER -