TY - BOOK
AU - Nazarov, Alexei
AU - Colinge, J.-P
AU - Balestra, Francis
AU - Raskin, Jean-Pierre
AU - Gamiz, Francisco
AU - Lysenke, V.S
AU - Nazarov, Alexei N.
TI - Semiconductor-on-insulator materials for nanoelectronics applications
PB - Springer
SN - 3642267084
SN - 9783642267086
SN - 9783642158674
KW - Aufsatzsammlung
KW - Nanoelektronik
KW - SOI-Technik
KW - Halbleitersubstrat
KW - MOS-FET
KW - CMOS
KW - MEMS
PY - 2011
N2 - Literaturangaben
N2 - Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke
BT - Engineering materials
CY - Berlin
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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