TY - GEN
AU - Barz, Jakob Philipp
TI - Particle dynamics simulation and diagnostics of the PECVD processes in fluorocarbon rf discharges
SN - 9783868534672
KW - Hochschulschrift
KW - Hochfrequenzplasma
KW - Laserinduzierte Fluoreszenz
KW - Simulation
PY - 2010
N2 - Druckausg. beim Verl. Dr. Hut, München erschienen
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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