TY -
GEN
AU - Laube, Jan
AU - Technische Fakultät
AU - Institut für Mikrosystemtechnik
AU - Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
AU - Zacharias, Margit
TI -
Silicon nanostructures: from isolated nanocrystals to percolated networks
PB - Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
KW - Nanokristall
KW - Siliciumverbindungen
KW - PECVD-Verfahren
KW - Siliciumsuboxide
KW - (local)doctoralThesis
KW - Hochschulschrift
PY - 2017
N2 - cc_by_sa http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de cc
CY - Freiburg
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -