TY -
GEN
AU - Haase, Anton
AU - Richter, Mathias
AU - Scholze, Frank
AU - Eisebitt, Stefan
AU - Richter, Mathias
AU - Bajt, Saša
TI -
Multimethod metrology of multilayer mirrors using EUV and X-Ray radiation
PB - Technische Universität Berlin
PY - 2017
CY - Berlin
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -